有気孔W-Coダイシングブレードの作製と定荷重切断試験による評価

抄録

ドクターブレード法を成形法とし、気孔率制御性に優れたPECS(Electric Current Sintering)法を焼結法として有気孔W-Coダイシングブレードを作製した。作製したダイシングブレードはアルチック(Al₂O₃·TiC)を被削材とした3.2Nの定荷重切断試験において、市販されているAl₂O₃·TiC切断用薄刃砥石と比較して2倍の切断スピードを示した。市販砥石は砥石表面の砥粒の脱落及び突出量低下により切断速度が低下したが、作製した砥石は750mm切断後もそれらの変化は見られなかった。