抄録
我々が開発した光検知式水素センサーは、パラジウム(Pd)薄膜の光透過率および反射率が、室温において、雰囲気の水素濃度の変化に応じて変化することを検出原理としている。本センサーを用いることにより、従来の電気的な検知方式に比べて漏電や短絡により着火の危険がなく、防爆面で高い安全が確保される。しかし、Pdは、水素を吸収すると約10%の体積膨張が起こるため、基板にガラスを用いた場合、膜が基板から剥がれやすくなるという耐久性の問題を有している。これまでにスパッタ時にマスキングを行うことでPd薄膜の格子状の溝を形成させることにより、耐久性が向上することを見出し、また、繰り返し水素にさらすことにより反射光強度の変化量が増加することを報告した。本報告では、マスキングを行ったPd薄膜水素センサーの反射光強度の変化を表面形状変化と光学特性変化から検討した。
