大気放型CVD法により作製したZrO₂、HfO₂、Al₂O₃及びY₂O₃薄膜の機械特性

抄録

大気開放型CVD法により作製したZrO₂, HfO₂, Al₂O₃及びY₂O₃薄膜の機械特性を解析した。X線回折により、ZrO₂、HfO₂、Al₂O₃及びY₂O₃はそれぞれ正方晶、単斜晶、アモルファスならびに立方晶構造をもつことがわかった。ナノインデンテーションテストはZrO₂が弾性率と硬さにおいて最高値を示している。本研究におけるHfO₂薄膜の弾性率と硬さは、M. Barsoum “Ceramics fundamentals”の実験結果と一致する。