エアロゾルデポジション法によるセラミックス薄膜形成メカニズム (第2報)

—原料微粒子前処理の成膜体微細構造への影響—

抄録

エアロゾルデポジション法(AD法)において, 原料粉体特性が形成された膜の微細構造に与える影響について調査した. 該手法は常温で緻密な膜を形成させることが可能である. 原料粉体を乾式ミル処理することによって成膜速度は著しく向上するが膜の密度は低下、これを加熱処理すると再び膜密は, 向上する。以上から、成膜特性は、粒径分布や粉体の機械特性や表面特性に大きく依存することが明らかになった。