エアロゾルデポジション法によるナノコンポジット膜の作製 (第1報)

—ナノ結晶セラミックスコンポジットの基礎的検討—

抄録

エアロゾルデポジション法(AD法)は、セラミックス微粒子、超微粒子材料の基板衝突による衝撃力を利用した熱非平行なプロセスで、緻密かつ強固な密着力のナノ結晶膜を常温形成できる. 本報告では、PZTとアルミナ材料に対し原料粒子段階の混合とガス搬送段階での混合とを試み、ナノコンポジット材料作成技術としての基礎的検討を行った。