抄録
窒化ケイ素の局所的熱的応答についてμTAを用い, 3種の窒化ケイ素SN-H, SN-L, SNについて調べた. SN-Hは最終的に2473Kで焼成し, SN-Lは2273Kであった. SN-Aはアルミナを焼結助剤として含有している. レーザーフラッシュによる熱伝導率はSN-H, SN-Lでそれぞれ132.3W/(m·K)と104.7W(m·K)であった. MTAによれば局所的な窒化ケイ素粒子の熱伝導はレーザーフラッシュの結果に反し, SN-HよりSN-Lで高かった. この粒内とバルクの熱伝導の値が逆転する現象について議論する.
