抄録
ダイヤモンドやDLC、ポリイミドなどの炭素質薄膜材料は、半導体・紫外発光素子や大容量記憶メディアの保護膜などとして注目されている。このような材料を利用するためには薄膜の微細加工や表面の平滑化が必須であるが、これらの材料は硬度、化学安定性が共に極めて高く、加工は容易ではない。一方、チタニアを光励起した場合に生成する・OHなどの活性酸素種は、有機物の光酸化分解反応を進行させることが知られている。われわれは分相_-_選択溶解法により作製したチタニアが高い光触媒活性を示すことをすでに報告している。そこで本研究では、分相_-_選択溶解法により作製したワイヤ形状のチタニアを用いて炭素質薄膜材料の光触媒酸化・分解反応によるナノ表面加工についての報告する。
