抄録
窒化ケイ素(Si3N4)セラミックスは,一般にY2O3やAl2O3のような焼結助剤を添加することによる液相焼結で緻密化が図られている.著者らは,窒化ケイ素(Si3N4)に助剤のY2O3 ,Al2O3とともにTiO2及びAlNを同時添加して焼結させると,特に低温での緻密化促進が顕著に見られることを報告してきた.本研究ではその場測定により得られた窒化ケイ素の焼結収縮曲線にMaster Sintering Curveを適用し,さらに微構造と構成相の変化を考慮してSi3N4-Y2O3-Al2O3-TiO2-AlN系の焼結挙動を解析することを目的とした.