CeO₂-SiO₂系不混和現象を用いた抵抗型半導体センサの作製

抄録

自動車の排気ガスを浄化し、大気汚染や地球温暖化の抑制をさらに進めるためには、ガソリンやディーゼルエンジンに用いられる酸素センサの小型化、高速応答性、高精度を実現することが求められている。本研究では、酸化物高温融液の相分離現象を用いて作製した多孔質酸化物半導体を抵抗型酸素センサに応用させることを目的とした。半導体として、酸素分圧により抵抗率の変化を示し、また高温でSiO₂との不混和領域を有するCeO₂に着目した。さらに分相組織の微細化と試料の均質化をもたらすAl₂O₃を第３成分として添加した。得られたCeO₂-Al₂O₃-SiO₂系試料の分相状態および結晶化状態を調べるとともに、電気伝導度の酸素分圧依存性についての調査、検討を行った。