抄録
固体ガスセンサ材料として利用されるSnO2をナノ粒子化すると、そのセンサ特性が向上することが多く報告されている。ナノ粒子そのものは化学溶液法や気相法によって合成することが可能であるが、これをデバイス化する際には電極基板上に400_から_500℃の温度で焼き付ける必要があり、また、実際のセンサ稼働温度も400℃付近と高温である。こうした加熱過程は、ナノ粒子の成長および焼結、さらに比表面積の大幅な減少を引き起こし、実際には期待されるほどの特性向上は望めない。本研究では、これらの加熱過程を経た後でも、粒子径が5_から_7nm、比表面積が110m2/g以上、さらに3_から_4nm付近に狭い細孔径分布を有するメソ多孔質SnO2ナノ粒子の合成法を開発することに成功した。