抄録
スパッタ法は、大面積基板に対して膜厚、および、膜質均一性の高い薄膜を成膜しうる技術であり、工業的に広く用いられている。本講演においては、高効率の光触媒活性を持つ酸化チタンのスパッタ成膜技術について述べ、さらに、光学干渉を用いて紫外光の利用効率を向上することにより、システムとして高効率化を実現する光触媒活性チタニア光学膜について説明する。また、酸化チタン上に異物質層を形成した際の光励起活性種の拡散挙動を酸化チタン／異物質層界面と異物質内部における２つの過程を分離し、ヘテロ積層系の光触媒活性について述べる。
