ZnOとα-Al₂O₃のカップリングにより作製した拡散層の光学特性

抄録

我々の研究グループはセラミックスのカップリングにより、界面に組成が連続的に変化する傾斜組成層を作製し、走査電子線を用いて元素組成（EDS）と発光特性（カソードルミネッセンス：CL）を同時に評価する手法を提案している。これまでに酸化アルミニウム（α-Al₂O₃）と酸化亜鉛（ZnO）の各組み合わせに本手法を適用することによって、界面に生成した拡散層が高い単色性と大きい強度を有する紫外発光（3.75 eV）を示すことを見出した。本研究では、これら拡散層に生成した材料の光学的特性について調査をおこなった結果について報告する。