PVP支援ゾル-ゲル法によるサブミクロン厚Ba(Sn,Ti)O<SUB>3</SUB>薄膜の１回成膜

日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム講演予稿集

2006年年会講演予稿集

セッションID: 2A08

DOI https://doi.org/10.14853/pcersj.2006S.0.168.0

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主催: 公益社団法人日本セラミックス協会

PVP支援ゾル-ゲル法によるサブミクロン厚Ba(Sn,Ti)O₃薄膜の１回成膜

*中垣内亮, 幸塚広光

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キーワード: Ba(Sn,Ti)O₃, 薄膜, コーティング, ポリビニルピロリドン, 誘電的性質, ゾル-ゲル法

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抄録

ポリビニルピロリドン（PVP）を含有するアルコキシド溶液をコーティング液とすることにより、サブミクロンの厚さをもつ単一相Ba(Sn,Ti)O₃薄膜を１回のゾル-ゲル成膜操作で作製できることを明らかにした。作製条件が薄膜の微細構造と誘電的性質に及ぼす効果を系統的に調べた。

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© 　日本セラミックス協会　2006

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