放射光光源の硬Ｘ線を用いた酸化亜鉛の光電子分光測定

抄録

センサー材料として利用される酸化亜鉛の更なる高機能化を目指し、その表面状態、および、ドーピングによる欠陥生成の状態を明らかにするため、6keVの放射光Ｘ線を利用した光電子分光測定を行った。