HfO₂添加Si₃N₄セラミックスの焼結挙動及び機械的特性

抄録

HfO2はY2O3、Al2O3等を固溶しながら結晶化するという特性を持っている。 この性質を利用しSi3N4の焼結助剤として用いる事で、 Si3N4の粒界を結晶化し、粒界を強化することが可能になると考えられている。 しかしSi3N4-Y2O3-Al2O3-HfO2-AlN系においてHfO2添加がSi3N4の 特性に与える影響については研究が不十分である。 そこで本研究ではSi3N4-Y2O3-Al2O3-HfO2-AlN系の焼結挙動及び機械的特性を調査し、 HfO2の影響を解析することを目的とした。