半導体ガスセンサにおけるトンネリング伝導の寄与

抄録

我々は、酸化スズを用いたセンサ素子について、その電気抵抗の温度依存性を調べ、センサ膜の調製方法により異なり、スピンコート法などのように外部から圧力を加えずに作製した膜では温度変化に対して電気抵抗が変化しない領域が存在することを見出した。このような特性は粒子間のトンネル効果によるものと考えられ、その可能性についてモデル計算を行った結果、ギャップ間が0.01nmよりも小さければ、そのようなトンネル効果は起こりうることが明らかになった。このような特性は、スピイコートあるいはマイクロドロップ法によるマイクロガスセンサなどに見られると考えられ、今後のセンサ作製上の重要な点となると思われる。