抄録
フレキシブル圧電センサには、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)などの高分子圧電体フィルムが一般的に使用されている。しかし、PVDFの使用温度の上限は80～100℃程度である。また、耐久性などにおいても十分とは言えない。そこで、著者らは圧電体にセラミックスである配向性窒化アルミニウム(AlN)薄膜を使用し、基板には耐熱性および耐薬品性に優れているポリイミドフィルム（PI）を使用し、Pt/PI/AlN/Pt(Metal-Polymer-Ceramic-Metal; MPCM)構造によって、耐熱性および耐久性、絶縁性を高めた新しいフレキシブル圧電センサを開発した。このセンサは0.01～40MPaの広い範囲の測定が可能であり、300℃まで温度特性が安定である。更に、人間の脈波および拍動、呼吸などの生体情報の測定にも応用できることを実証した。
