ナノシートシード法を利用したPLD法による(001)配向酸化亜鉛薄膜の室温製膜

抄録

酸化物ナノシートは、数原子層分の厚みしかもたない二次元結晶である。最近我々は、この酸化物ナノシートをシード層として利用する新規の薄膜成長制御法を考案した。本手法では、ナノシートの単層膜を利用することで、厚さ約１ナノメートルの平滑なシード層を、簡便な室温の溶液プロセスによって作製することが可能である。本発表では、このナノシートシード法を利用することで、PLD法によって高結晶性の(001)配向酸化亜鉛薄膜を室温にて作製することに成功したので報告する。