ナノ粒子ヘ゜ーストを用いたスクリーン印刷法によるBaTiO3厚膜の作製と電気特性

抄録

スクリーン印刷法は厚み数10μmの厚膜パターンが容易に形成できるため、MEMSデバイス用の強誘電体、圧電体厚膜としての利用等が期待されている。ここでは、粒径100nmのBaTiO3粉末を用いて作製したペーストをスクリーン印刷し焼成により形成される厚膜について、作製条件および添加物と電気特性の関係を検討した結果を報告する。