ニオブ酸アルカリ系非鉛圧電セラミックスを用いた小型アクチュエータの作製

鈴木 諭; 萩原 学; 吉村 知浩; 保科 拓也; 武田 博明; 鶴見 敬章

doi:10.14853/pcersj.2009S.0.515.0

2009年年会講演予稿集

セッションID: 3A22

DOI https://doi.org/10.14853/pcersj.2009S.0.515.0

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主催: 公益社団法人日本セラミックス協会

ニオブ酸アルカリ系非鉛圧電セラミックスを用いた小型アクチュエータの作製

鈴木諭, 萩原学, 吉村知浩, 保科拓也, *武田博明, 鶴見敬章

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キーワード: 非鉛圧電セラミックス, 小型アクチュエータ, ニオブ酸アルカリ系

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抄録

我々はこれまで，ニオブ酸アルカリ系非鉛圧電セラミックスにおいてその電気機械結合係数k，圧電定数dが共に15モードが33モードより大きい値を示すことを踏まえ，そのモードを利用した超音波モーターやインクジェットヘッドの作製を行っている[1,2]．本報告では，これらデバイス性能向上に必要な同材料の基礎物性の評価を行うと共に，同材料を利用した小径超音波モーターやマイクロポンプの作製を試みた．

責任著者(Corresponding author)

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