ニオブ酸アルカリ系非鉛圧電セラミックスを利用した超音波モーターの駆動特性

抄録

ニオブ酸アルカリ系非鉛圧電セラミックスの厚みすべり振動を利用した低速・高トルク特性の超音波モーターを作製し、その駆動特性評価を行なった。２セットの厚み滑り振動子を，分極方向が垂直になるように配置し，それぞれに位相差90°の２つの交流電界を印加することにより，ステーター上部に首振り振動による回転運動が得られた。有限要素法を用いたシミュレーションにより、モーターの振動モードと駆動原理のモデリングを行なった。実際に作製したモーターにおいては、70 Vrmsの交流電界を印加することで、最大回転数238 rpmの回転数が得られた。