シリコン薄膜熱電式ガスセンサ素子上の触媒燃焼特性

抄録

燃焼触媒を集積化したマイクロ熱電式ガスセンサは、触媒上でのガス燃焼反応によって生じる酸化熱を、熱電材料により電圧信号へ変換することで、ガス濃度を計測する。この素子はマイクロヒータにより触媒温度を制御できることから、マイクロ素子上の触媒燃焼性能の評価にも有効である。これまで我々は、主にSiGe薄膜を用いた熱電式ガスセンサ素子の開発を行ってきた。本研究では、BをドーピングしたSi薄膜を用いたマイクロ素子を作製し、素子上に集積化した触媒のガス燃焼特性を評価した。