酸化チタンナノ粒子を用いた電気泳動法による酸化チタン薄膜の作製

抄録

本研究では酸化チタンナノワイヤーと呼ばれているナノ粒子(TNW)を用いた電気泳動法による酸化チタン薄膜の作製を試みた。TNWには粒子と粒子のつなぎの部分において結晶格子がつながるいわゆるoriented attachment と呼ばれる機構があり，1次元構造をとっていため電子の輸送が容易になる。TNWでは酸化チタン微粒子(P25)と比べて透明性の高い薄膜を堆積した。膜厚を厚くすると剥離が生じたが泳動開始後短時間で製膜を終了することでクラックのない極めて高い透明性の薄膜が堆積した。メカニカルミリングにより高分散させたTNWとP25の混合コロイド溶液を用いて電気泳動を行うとクラックがほとんどない透明度の高い膜厚の厚い薄膜が堆積した。