コプラナー型プラズマ放電電極の最適化と酸化物薄膜の形成

抄録

現在多くの薄膜形成方法が実用化されているが、それらの多くは高温下や減圧下での反応が利用されており、簡便な薄膜形成方法が求められている。本研究では、常温・大気圧下で平面状に放電可能なコプラナー放電によるプラズマに着目し、これを利用した酸化物薄膜の形成を試みた。