誘電体人工超格子薄膜への導電層導入による誘電率増強

抄録

SrRuO₃薄膜を下部電極としてRFマグネトロンスパッタを用いてSrTiO₃(001)基板上に作製した。この下部電極上に分子線エピタキシー法を用いてBaTiO₃/SrTiO₃系人工超格子中にSrRuO₃単分子層を導電体層として導入したハイブリッド人工超格子薄膜を作製した。XRD測定および蒸着中のRHEEDの強度振動、ストリークパターンから２次元エピタキシャル成長をした試料を作製することができた。導電層を１層だけ導入したハイブリッド薄膜の誘電特性は、人工超格子薄膜の誘電特性と変わらなかった。これに対し、導電層２層を導入したハイブリッド薄膜では、誘電特性の上昇が観察された。