(Nb/Ta) 相互固溶酸化チタンナノシートの合成と交互吸着法による多層膜の作製

抄録

本研究では、膜厚5〜15 nmの極薄膜領域において120以上の高い比誘電率を有する酸化チタンナノシート (Ti_0.87O₂) と構造の類似した酸化ニオブ系およびタンタル系ナノシートに注目し、高い誘電分極特性を示すことで知られるNbO₆/TaO₆八面体ブロックを内包したTiNb_1-xTa_xO₅ナノシートの合成と多層膜の作製を試みた。層状化合物を酸処理後、単層剥離させることで、ナノシートが分散したコロイド溶液を合成した。さらに交互吸着法によりナノシート/PDDAが繰り返した構造の多層膜を作製した。