偏光ラマン分光法による多結晶3C-SiC膜の応力評価

抄録

多結晶3C-SiC膜の応力評価方法について偏光ラマン分光法を用いて検討を行った。4点曲げ試験機を使って多結晶SiC膜から切り出した試験片に応力を負荷し、3C-SiCのTOフォノンのラマンシフトを測定した。入射光に対して、後方ラマン散乱光を平行方向と垂直方向に分離して評価を行った結果、偏光方向で検量線の傾きに差が生じた。これは、応力下で結晶の対称性が低下し縮退していたTOフォノンが分裂したものと推察される。