二次元周期構造を有するセラミックス薄膜の新規デバイス応用を目指した構造の作製

抄録

二次元周期構造を有する薄膜は物質により様々な応用が可能であると我々は考えている。その応用例として表面自己洗浄材料、マイクロレンズアレイ、記録媒体、バイオセンサー、共振器が挙げられる。本研究では、パルスレーザー堆積法 (PLD法) と単分散ポリスチレン (PS) テンプレートを用いてこのような応用の可能性を有する薄膜の作製に成功している。またPLD法における実験条件を操作することで周期構造が変化するとわかった。現在、このような実験条件の組み合わせと、適切な多種類の物質を選択することで、新規デバイス応用を可能とする構造の作製を目指している。