抄録
ゾル-ゲル法で作製したPt微粒子分散WO3薄膜は、光学式水素ガスセンサへの応用が検討されている。しかし、大気中の水分の存在により水素ガス応答特性が劣化してしまうという問題点が解決されていない。本研究では、水素ガスセンサの信頼性の向上を目的として、耐水性を備えもつ高分子材料との複合化により、この問題点の解決を試みた。ゾル-ゲル法でPt微粒子を担持したWO3微粒子(Pt/WO3微粒子)を作製し、このPt/WO3微粒子を耐水性に優れたNafion薄膜に分散させた複合薄膜を作製した。また、この複合薄膜の水素ガス応答特性に及ぼすPt/WO3微粒子の分散濃度の影響について検討した。