BaTiO₃系コンデンサ材料の希土類置換サイトの局所分析

抄録

BaTiO3系コンデンサ材料において、希土類イオンはBaとTiのいずれのサイトも置換する可能性があるが、いずれを置換するかによって、電気的特性への影響が異なる。希土類の置換サイトについては過去に様々な研究例があり、多くの知見が得られているが、コンデンサ材料において一般的に使用されている両方の置換サイトを取りうる希土類元素について、各材料で実際にいずれのサイトをどの程度の割合で置換しているのか、また局所的にはどうなっているのか直接確認した例はほとんどない。そこで、近年普及しつつある球面収差補正STEMを用いて、希土類イオンの置換サイトを直接的、また、局所的に解析した例を報告する。