Y₂O₃-Al₂O₃系添加物を用いたAlNセラミックスの加圧接合

抄録

AlNは高熱伝導率を有するセラミックスであり、半導体製造装置などに応用されている。本研究では、Y2O3とAl2O3を接合助剤として添加することにより、AlNセラミックスの接合を行った。