抄録
これまでに、AlNの酸化反応において、応力を緩和する傾斜領域を形成することで酸化 層の密着性が向上することを報告した。 本研究では、本法による酸化層形成におけ る酸化挙動および形成された酸化層を有するのAlNの特性評価を行った。
これにより以下の結果が得られた。
1.酸化速度（酸化に伴う重量増）は酸化の進行に伴い加速する。
2.酸化層が50μm程度までは、膜厚の増加に伴う密着性の低下は認められない。 また、高温高湿放置に伴う密着性の低下も認められない。
3.反射率は酸化膜厚に伴い増加する。また、反射率は基材AlNの反射率の影響を 受けるが、その増分は短波長ほど大きくなる傾向がある。
