ガスセンサ用酸化物半導体材料のDRIFTS分析

抄録

ガスセンサ用酸化物半導体材料はn型とp型があり、ガスセンシングのメカニズムを理解するためにこれらの半導体の表面での反応と、それによる電気物性のう変化、即ち、ガス応答特性を同時に調べた。半導体表面での反応はDRIFTS分析を用いて詳細に調べた。