日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
2012年年会講演予稿集
セッションID: 1P040
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無機半導体微粒子への銀無電解めっき特性
*橋本 遊長浜 太郎島田 敏宏
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キーワード: 無電解めっき, 半導体, 印刷
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抄録
フレキシブル基板上に薄膜半導体や金属から成る素子を作製して曲げられる電子回路を作ることができれば、さまざまな応用が開かれると予想される。我々は、キャリヤ移動度が高く大気中でも動作する無機半導体を印刷で作る方法を探っている。本研究では粒界抵抗を下げる一つの試みとして、無機半導体微粒子に部分的に金属の無電解めっきを施し、圧着により接続する方法を考え、さまざまな無機半導体に銀の無電解めっきを行い、物質依存性を実験的に調べた。銀の析出挙動は光学顕微鏡により観察し、試料をFE-SEM、EDS、XPS、AESにより解析した。さらに、電気二重層トランジスタ構造を作製してデバイス特性を調べた。SEM像から、表面のステップの端部に銀の微粒子が選択的に生成していることが分かった。類似の現象は他の物質でも見られた。
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©  日本セラミックス協会 2012
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