エアロゾルデポジション法により作製されたSrBi2Ta2O9 膜の強誘電・誘電特性

抄録

　近年、多くのハイパワー圧電デバイスが開発されている。[1]環境保全の意識向上による非鉛系圧電体への需要が増える中、ハイパワー圧電体材料として期待されているのがビスマス層状構造強誘電体(BLSFs)である。これまでBLSFsはPb(Zr,Ti)O₃に比べ大きな機械品質係数Q_mを持つこと[2]、a軸方向に大きな強誘電性を示すこと[3]が報告されている。本研究では室温で緻密なセラミック膜を短時間で作製することができるエアロゾルデポジション(AD)法を用いて、BLSFsに属するSrBi₂Ta₂O₉（SBTa）をPt/Ti/YSZ基板上に無配向で作製し[4]、その電気的特性の調査を行った。