大口径平面度干渉計によるウェファー用チャックの平面度測定

抄録

すでに発表した産業技術総合研究所で開発した高精度大口径平面度干渉計を使用して，フィゾー干渉によりシリコンウェファー用の真空チャックを測定することができたので，その結果を報告する．