RFプラズマCVD法により合成したDLC膜の疲労特性評価

丹治 明; 竹内 貞雄; 松野 建一; 村川 正夫

doi:10.11522/pscjspe.2002A.0.432.0

2002年度精密工学会秋季大会

セッションID: I25

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2002A.0.432.0

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主催: 社団法人精密工学会

機能性薄膜（2）

RFプラズマCVD法により合成したDLC膜の疲労特性評価

*丹治明, 竹内貞雄, 松野建一, 村川正夫

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キーワード: DLC膜, 疲労破壊

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抄録

DLC膜の機械的特性として、付着力、硬さ等の評価は広く行われている。しかしながら、工業的な応用に際して、問題となる基板の繰り返し変形に対する膜と基板界面の疲労、あるいは膜自身の疲労破壊という現象につては全く評価がされていないという問題がある。本報告では，基板の繰り返し変形に対する膜の疲労特性を評価できる試験機を試作してハイス基板上に合成したDLC膜の疲労特性の評価を行った．

責任著者(Corresponding author)

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