微小球状工具により形成されたディンプル·溝の形状精度

抄録

工具形状転写プロセスにおいて3次元微細形状パターンを高精度に形成するためには，工具形状をいかに精度良く被加工材質表面へ転写すべきかが重要となる.そこで本研究では,工具形状と被加工材質表面へ形成されたディンプル·溝の断面形状を比較し，転写精度の評価を行い,1)被加工材質と工具形状転写精度の関係,2)被加工材質と連続ディンプル形成,3)被加工材質と連続溝形成の関係，について検討した．その結果,材料による工具転写性の違いとその原因,複数の微細形状形成への有用性について結論を得た.