抄録
スプレー塗布法は、低コスト·被塗布基材の形状に対するフレキシビリティが大きいことから広い分野で用いられている重要な要素技術である。しかし塗布の均一性に課題があるため、部品·デバイスの急速なファイン化に伴い、更なる高精度化への要求が高まっている。そのためには塗布液の物性·ノズル形状·塗布条件のマッチングを図ることが重要である。しかし、スプレー噴霧等の高速な塗布状態を把握することは難しく、高精度な塗布プロセスを確立することが困難であった。そこで、スプレー塗布のキーとなる塗布液の組成·物性と噴霧時の微粒化状態を把握し最適化するための新手法を開発した。
