ポア自生パッドの開発

抄録

ピッチなどの粘弾性媒体(パッド)に，研磨液に可溶な溶質材を予め混入することでポアを自生させることに成功した.研磨への応用が可能と考えられる.パッドは熱により軟化溶融するので，繰返し使用可能である.