抄録
従来のポリエステルフィルム基材のラッピングテープは,チップポケットが少ないために目詰まりを誘発したり,さらにこのチップポケットに加工液を滞留させておくことができずに研磨点における加工液の作用効果を十分に発揮できないという欠点を持っている.そこで本研究では,従来のポリエステルフィルム基材を採用したラッピングテープの欠点を解消することを目指し,熱可塑性ポリエステルフィルムを基材に用いてラッピングテープに凹凸のあるパターンを転写したものを開発し,その研磨特性について実験的に解明した結果について述べる.