被測定面で発生する反射光スペックルが光触針式輪郭測定機に及ぼす影響

抄録

現在市販されている光触針式表面粗さ計用いて実際の加工面を測定すると、測定面の材質や加工法によっては、その測定値に触針式粗さ計に現れない、高周波成分や突発的なピーク等の誤差が生じることが指摘されている。この原因についてはこれまであまり明確にされておらず、この問題を扱った研究も非常に少ない。本研究では、光触針法を用いたときに発生する高周波成分等の原因を明らかにするとともに、高周波成分除去機能を有する測定システムを提案する。