精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会春季大会
セッションID: C34
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ナノファブリケーション・ナノストラクチャ(1)
原子間力顕微鏡による固体表面像の分子動力学解析
プローブ先端が平坦な場合
*清水 淳周 立波江田 弘
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抄録
カンチレバの剛性を考慮した三次元モデルを用い,原子間力顕微鏡ないし摩擦力顕微鏡による固体表面像の観察過程の分子動力学シミュレーションを行なった.本報では,プローブ先端が平坦な場合に,固体表面原子構造の周期性に起因して固体表面原子像が得られるか否かを検討した結果を中心に報告する.
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© 2003 公益社団法人 精密工学会
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