精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会春季大会
セッションID: C35
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ナノファブリケーション・ナノストラクチャ(1)
カーボンナノチューブの固体潤滑特性の評価
*吉岡 信明平田 敦
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抄録
メタンを原料とし,シリコン基板上にマイクロ波プラズマCVD法により合成したカーボンナノチューブの潤滑特性をボールオンディスク方式摩擦試験装置により評価した.その結果,カーボンナノチューブは,真空中で低摩擦·摩耗特性を示し,結晶性の高いものほど潤滑特性に優れることがわかった.さらに,触媒となるコバルトを含み,多孔質の超硬基板上にも合成を行い,カーボンナノチューブの付着力や固体潤滑特性の向上を検討した.
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© 2003 公益社団法人 精密工学会
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