真空吸着によるテクスチャーの形成(第1報)

形成方法とディンプル形状

抄録

液晶表示板などの工業製品に限らず、骨折補強用インプラントなどの医療分野においても様々なテクスチャが必要とされており、摩擦を高めた機能表面などを生成するための研究が進められている。本報では、真空ピンチャックを用いてシリコンウエハ上にディンプルを形成する新しい方法について報告する。ウエハを吸着変形させ、研磨することによってピン形状をウエハ上に転写することにより生成したディンプルの形状や深さの均一性などについて明らかにする。