開口制限光ファイバーマトリックスを用いた投影露光リソグラフィ

抄録

　プラスチック光ファイバーを直線状に並べて射出口の直径を微細開口で制限し、パタンの微細化を図った。開口制限板は微鏡用カバーガラスにアルミニウムを真空蒸着し、現像液にアルミニウムが溶ける性質を利用して製作した。ファイバーの細径化に制限があっても1-2μmの微細パタンができることを示す。