液晶マトリックス投影露光による厚膜レジスト露光の基礎検討

抄録

投影露光技術をマイクロ部品製造のような少量多品種生産に利用するため、レチクルの代替として液晶パネルを用いるマトリックス露光技術を検討した。液晶を用いて厚膜パタンを作ろうとすると、コントラストの確保と露光所要時間との両立が難しくなることを示す。