Truncation近似による面積関数の校正と薄膜測定への応用

抄録

　ナノインデンテーション試験において圧子の面積関数を見積もることはきわめて重要である。従来行われているOliverらの手法では面積関数の自由度が余りにも高く、決定が極めて難しい。単純なTruncation形状を仮定した関数により面積を補正し、それを薄膜試験片に応用した。100nm以下の部分において面積関数の単純さによる影響が見られたが、それ以上の領域では有効であった。