イオンビームスパッタ法によるPt/C多層膜の製作と微細構造評価

抄録

イオンビームスパッタ法により周期数nmのPt/C多層膜をSi基板上に成膜し、その微細構造とX線反射特性を評価した。成膜条件によるX線反射率の変化と高分解能透過電子顕微鏡による微細構造の観察結果について講演する。