冷凍チャックの基本的性能と硬脆材料切断への応用

抄録

　シリコンウェハなどの薄片状硬脆性材料を保持する方法として冷凍チャックシステムに着目した。本研究において試作した冷凍チャックシステムは、ペルチェ素子を利用した物であり、これによって冷凍および解凍が電流の正逆操作で可能になり、装置や操作の簡易化が実現できると同時にチャックシステムの小型化を図ることができる。この冷凍チャックシステムのチャック表面の材質にステンレス鋼（SUS304）とモリブデンの2種類の金属を用い、チャック表面の相違が冷凍チャックの基本的性能である冷却特性、吸熱量および表面ひずみにどのような影響を及ぼすかを実験的に検討する。